主要技術參數
測量範圍：
0-972mm
滑杆行程：
600mm
分辨率：
0.0001mm
精度（20℃）：
(1.1+0.6L/600)um
垂直度：
5um
直線度：
4um
重複精度：
平面：0.4um
孔：0.9um
量測感應力：
1N
測頭移動方式：
電動/手動
浮動方式：
氣浮
